半導(dǎo)體芯片制造工半導(dǎo)體制造技術(shù)章節(jié)練習(xí)(2019.05.04)
來(lái)源:考試資料網(wǎng)參考答案:根據(jù)曝光方式不同光學(xué)光刻機(jī)主要分為三種:接觸式,接近式,投影式。接觸式:接觸式光刻機(jī)是最簡(jiǎn)單的光刻機(jī),曝光時(shí),掩模壓在涂...
2.問(wèn)答題
以P2O2為例說(shuō)明SiO2的掩蔽過(guò)程。
3.問(wèn)答題什么是光刻中常見的表面反射和駐波效應(yīng)?如何解決?
參考答案:表面反射——穿過(guò)光刻膠的光會(huì)從晶圓片表面反射出來(lái),從而改變投入光刻膠的光學(xué)能量。當(dāng)晶圓片表面有高...
4.問(wèn)答題簡(jiǎn)述APCVD、LPCVD、PECVD的特點(diǎn)。
參考答案:APCVD——一些最早的CVD工藝是在大氣壓下進(jìn)行的,由于反應(yīng)速率快,CVD系統(tǒng)簡(jiǎn)單,適于較厚的...
參考答案:張應(yīng)力(張的時(shí)候產(chǎn)生的應(yīng)力)與壓應(yīng)力(壓的時(shí)候產(chǎn)生的應(yīng)力)
在張應(yīng)力作用下,薄膜會(huì)相對(duì)襯底進(jìn)行...
在張應(yīng)力作用下,薄膜會(huì)相對(duì)襯底進(jìn)行...
參考答案:①交換式:兩相鄰原子由于有足夠高的能量,互相交換位置。②空位式:由于有晶格空位,相鄰原子能移動(dòng)過(guò)來(lái)。③填隙式:在空隙中的...
參考答案:熱氧化層中可能存在各種雜質(zhì),某些最常見的雜質(zhì)是與水有關(guān)的化合物,其結(jié)構(gòu)如圖所示。如果氧化層在生長(zhǎng)中有水存在,一種可能發(fā)生...
9.問(wèn)答題MEMSSi加工工藝主要分為哪兩類,它們最基本的區(qū)別是什么?
