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問答題
【論述題】應(yīng)力分為壓應(yīng)力和張應(yīng)力，下圖的形狀是由于哪種應(yīng)力產(chǎn)生的？請在圖上標(biāo)出應(yīng)力的方向。如果要讓上面的結(jié)構(gòu)材料變得平整，要怎么做？
答案：
張應(yīng)力（張的時候產(chǎn)生的應(yīng)力）與壓應(yīng)力（壓的時候產(chǎn)生的應(yīng)力）
在張應(yīng)力作用下，薄膜會相對襯底進(jìn)行...
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問答題
【論述題】在MEMS加工中，為了精確控制腐蝕深度，有哪幾種腐蝕停止技術(shù)，分別說一下其腐蝕停止原理。
答案：
腐蝕停止目的：為了精確控制腐蝕深度.P++腐蝕停止技術(shù)（形成重?fù)诫sB層）：Si的濕法腐蝕速率在B摻雜濃度<1×10
問答題
【論述題】MEMSSi加工工藝主要分為哪兩類，它們最基本的區(qū)別是什么？
答案：
Si工藝 體硅微機(jī)械加工工藝（Bulkmicromaching）——用晶圓自身材料來制作MEM...
