問(wèn)答題

【論述題】什么是光刻中常見(jiàn)的表面反射和駐波效應(yīng)？如何解決？

答案： 表面反射——穿過(guò)光刻膠的光會(huì)從晶圓片表面反射出來(lái)，從而改變投入光刻膠的光學(xué)能量。當(dāng)晶圓片表面有高...
題目列表

你可能感興趣的試題

問(wèn)答題

【論述題】典型的光刻工藝主要有哪幾步？簡(jiǎn)述各步驟的作用。
答案： 涂膠→前烘→對(duì)準(zhǔn)與曝光→曝光后烘烤→顯影→堅(jiān)膜→顯影檢查
微信掃碼免費(fèi)搜題