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【論述題】簡述雜質在SiO
2
的存在形式及如何調節(jié)SiO
2
的物理性質。
答案:
熱氧化層中可能存在各種雜質,某些最常見的雜質是與水有關的化合物,其結構如圖所示。如果氧化層在生長中有水存在,一種可能發(fā)生...
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問答題
【論述題】
以P
2
O
2
為例說明SiO
2
的掩蔽過程。
答案:
以P
2
O
2
雜質源為例來說明SiO
2
的掩蔽過程:當P
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【論述題】說明SiO
2
的結構和性質,并簡述結晶型SiO
2
和無定形SiO
2
的區(qū)別。
答案:
結晶形SiO
2
——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構成每個頂角的O原子與兩個...
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