微電子學章節(jié)練習(2019.11.15)

來源：考試資料網(wǎng)
1.名詞解釋互連
參考答案：將同一芯片內的各個獨立的元器件連接成為具有一定功能的電路模塊
參考答案：八道工序為：晶圓清洗、預烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對準和曝光、曝光后烘烤，以及顯影、硬烘烤和圖形檢測
參考答案：微電子封裝通常有五種作用，即電源分配、信號分配、散熱通道、機械支撐和環(huán)境保護。
1）電源分配
微電子...
參考答案：沿晶體溝道注入離子的射程遠大于隨機方向注入離子射程的現(xiàn)象；硅片相對注入束偏轉5-7°的注入角；表面生長氧化層；硅注入表面...
參考答案：

數(shù)/模轉換器芯片可用來提供用做電子機械設備的控制模擬驅動信號。
模/數(shù)轉換器芯片可用來測量模擬驅動信號的輸出。

參考答案：快速熱處理是在非常短的時間內，將單個硅片加熱至400~1300攝氏度范圍內的一種方法。
優(yōu)點：減小熱預算。硅中...
參考答案：優(yōu)點：
•更低的電阻率
•減少了功耗
•更高的互連線集成密度...