填空題

集成電路的特征尺寸是衡量集成電路加工工藝水平和（）的主要指標。

答案：設(shè)計水平

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集成電路的特征尺寸有時也稱線寬，通常是指集成電路中半導(dǎo)體器件的（）。

答案：最小尺度

MOS型集成電路又分為NMOS、PMOS、（）型。

答案： CMOS

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