問答題

【簡答題】什么是快速熱處理，相比于系統(tǒng)爐其6大優(yōu)點是什么？

答案： 快速熱處理是在非常短的時間內(nèi)，將單個硅片加熱至400~1300攝氏度范圍內(nèi)的一種方法。
優(yōu)點：減小熱預(yù)算。硅中...
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【簡答題】簡述立式爐系統(tǒng)的五部分。
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【簡答題】壓力對氧化物生長的影響是什么？
答案： 生長速率隨著壓力增大而增大。高壓強迫使氧原子更快地穿越正在生長的氧化層，這對線性和拋物線速率系數(shù)的增加很重要。這就允許降...
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