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問答題
【簡答題】簡述光刻工藝的8道工序
答案：
八道工序為：晶圓清洗、預烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對準和曝光、曝光后烘烤，以及顯影、硬烘烤和圖形檢測
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問答題
【簡答題】列出4種曝光技術，并說明那種分辨率最高，說明各種曝光技術的優(yōu)缺點。
答案：
1、接觸式曝光：分辨率較高，可在亞微米范圍內。接觸時的微粒會在晶圓上產生缺陷，光刻版的壽命也會減短。
2、接近...
2、接近...
