傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗時發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時，判斷其造成原因有（）

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達到終點的終點檢測方法是（）

根據(jù)曝光模式，光制機的種類分為（）。

回態(tài)源擴散的雜質(zhì)源有（）

電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）

最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

堅膜烘焙在加熱平板上進行，溫度控制在（）。

敘述測試晶體管的方法？

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。