A.快速熱退火及升溫速度和保持時(shí)間是否準(zhǔn)確B.檢查是否有溝道效應(yīng)C.檢查注入能量系統(tǒng)D.檢查注入速度和時(shí)間是否準(zhǔn)確
A.劑量與束流密度B.射程與注入能量C.注入角度D.晶圓
A.離子源是否被沾污B.真空系統(tǒng)是否漏氣C.原材料是否滿足純度要求D.光刻膠的堿性元素沾污