光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

離子注入機掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達到終點的終點檢測方法是（）

調(diào)試和維修電路時排除故障的一般程序和方法是怎樣的？

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）

當(dāng)需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時，一般使用（）。

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）