A.硫酸B.氫氟酸C.雙氧水D.去離子水
A.硼酸三甲酯B.氮化硼C.硼D.磷微晶玻璃片
A.在局部阻擋摻雜B.對器件結(jié)構(gòu)造成連接或短路C.對微小器件結(jié)構(gòu)造成溝型損傷D.整片硅片報廢