下面哪些元素屬于半徑較小的雜質原子？（）

碳納米管場效應晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

常壓的硅外延方法有（）。

消除鳥嘴效應的方法有（）。

當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎是（）。

光刻工藝的設備核心是（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。