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問答題
【簡答題】列舉并描述薄膜生長的三個階段。
答案：
第一步是晶核形成：成束的穩(wěn)定小晶核形成，這一步發(fā)生在起初少量原子或分子反應(yīng)物結(jié)合起來，形成附著在硅片表面的分離的小膜層的...
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問答題
【簡答題】什么是快速熱處理，相比于系統(tǒng)爐其6大優(yōu)點(diǎn)是什么？
答案：
快速熱處理是在非常短的時間內(nèi)，將單個硅片加熱至400~1300攝氏度范圍內(nèi)的一種方法。
優(yōu)點(diǎn)：減小熱預(yù)算。硅中...
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