多項(xiàng)選擇題

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

A.選擇合適的掩蔽膜
B.在氧化前，將窗口處的硅腐蝕掉深度，再進(jìn)行局部氧化
C.退火
D.高壓氧化工藝

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