單項選擇題（）由鐘罩、蒸氣源加熱器、襯底加熱器、活動擋板和底盤構(gòu)成。
A.真空鍍膜機
B.真空鍍膜室
C.真空鍍膜器
D.真空鍍膜儀
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1.單項選擇題真空蒸發(fā)又被人們稱為（）。
A.真空沉積
B.真空鍍膜
C.真空外延
D.真空
2.多項選擇題按加熱源的不同，可以分成（）幾種不同類型的蒸發(fā)。
A.真空蒸發(fā)
B.離子束蒸發(fā)
C.電子束蒸發(fā)
D.粒子束蒸發(fā)
E.常壓蒸發(fā)
3.單項選擇題電子束蒸發(fā)的設(shè)備中產(chǎn)生電子束的裝置稱為（）。
A.電子源
B.電子泵
C.電子管
D.電子槍
4.單項選擇題用真空蒸發(fā)與濺射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金屬材料，是形成電極的（）。
A.重要步驟
B.次要步驟
C.首要步驟
D.不一定
5.多項選擇題為了滿足半導(dǎo)體器件對金屬材料的低電阻連接以及可靠的要求，金屬材料應(yīng)該滿足（）。
A.低電阻率
B.易與p或n型硅形成歐姆接觸
C.可與硅或二氧化硅反應(yīng)
D.易于光刻
E.便于進(jìn)行鍵合
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