多項(xiàng)選擇題離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

A.靜電掃描
B.機(jī)械掃描
C.混合掃描
D.平行掃描


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1.多項(xiàng)選擇題傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

A.反刻法
B.高溫回流法
C.旋涂玻璃法
D.化學(xué)機(jī)械拋光法

2.多項(xiàng)選擇題金屬薄膜制備中常見(jiàn)的濺射方式有（）

A.直流濺射
B.射頻濺射
C.磁控濺射
D.準(zhǔn)直濺射

3.多項(xiàng)選擇題鋁的電遷移可能導(dǎo)致的結(jié)果是（）

A.陽(yáng)極短路
B.陽(yáng)極斷路
C.陰極短路
D.陰極斷路

4.多項(xiàng)選擇題影響顯影工藝的因素有（）。

A.曝光度
B.顯影液濃度
C.顯影方法
D.工序的溫度和時(shí)間容量

5.多項(xiàng)選擇題下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）

A.脫水烘烤
B.旋轉(zhuǎn)涂布法涂HMDS
C.氣拍涂底法涂HDMS
D.軟烘