以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質量要求的是（）

敘述測試晶體管的方法？

分結深是重要的結構參數(shù)，在檢驗時發(fā)現(xiàn)超淺結注入時，判斷其造成原因有（）

堅膜烘焙在加熱平板上進行，溫度控制在（）。

（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運動把粒子進行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設定于（）。

鋁的電遷移可能導致的結果是（）

以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）