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鋁的電遷移可能導致的結果是（）
A.陽極短路
B.陽極斷路
C.陰極短路
D.陰極斷路
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影響顯影工藝的因素有（）。
A.曝光度
B.顯影液濃度
C.顯影方法
D.工序的溫度和時間容量
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多項選擇題
下列哪些是進行光刻前的預處理的步驟？（）
A.脫水烘烤
B.旋轉(zhuǎn)涂布法涂HMDS
C.氣拍涂底法涂HDMS
D.軟烘
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