集成電路制造工藝員（三級(jí)）單項(xiàng)選擇題每日一練(2020.05.31)

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1 在確定擴(kuò)散率的測(cè)結(jié)深實(shí)驗(yàn)中，結(jié)深的測(cè)量是采用HF和（）的混和液對(duì)磨斜角進(jìn)行化學(xué)染色的。

2 光刻工藝中，脫水烘焙的最初溫度是（）。

3 二氧化硅生長(zhǎng)過(guò)程中，當(dāng)分凝系數(shù)小于1時(shí)，會(huì)使二氧化硅-硅界面處硅一側(cè)的雜質(zhì)濃度（）。

4 為了保證保護(hù)裝置能可靠地動(dòng)作，27.5A的接地電流只能保證斷開動(dòng)作電流不超過(guò)多少的繼電保護(hù)裝置。（）

5 電子束蒸發(fā)的設(shè)備中產(chǎn)生電子束的裝置稱為（）。