單項(xiàng)選擇題離子源的作用是使所需要的雜質(zhì)原子電離成（）離子，并通過一個(gè)引出系統(tǒng)形成離子束。

A.正
B.負(fù)
C.中性
D.以上答案都可以


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1.單項(xiàng)選擇題在各種離子源常用的放電方式中，EOS是指有（）。

A.電子振蕩放電
B.離子自動(dòng)放電
C.低電壓弧光放電
D.雙等離子電弧放電

2.多項(xiàng)選擇題離子注入的主要?dú)怏w源中，劇毒的有（）。

A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷

3.單項(xiàng)選擇題離子注入裝置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系統(tǒng)等。

A.中子源
B.離子源
C.電子源
D.質(zhì)子源

4.單項(xiàng)選擇題早期，研究離子注入技術(shù)是用（）來進(jìn)行的。

A.重離子加速器
B.熱擴(kuò)散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器