多項(xiàng)選擇題離子注入的主要?dú)怏w源中，劇毒的有（）。
A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷
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1.單項(xiàng)選擇題離子注入裝置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系統(tǒng)等。
A.中子源
B.離子源
C.電子源
D.質(zhì)子源
2.單項(xiàng)選擇題早期，研究離子注入技術(shù)是用（）來進(jìn)行的。
A.重離子加速器
B.熱擴(kuò)散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器
3.單項(xiàng)選擇題（）的氣體源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等離子。
A.Cl2
B.BCl3
C.CO2
D.H2
4.單項(xiàng)選擇題離子源產(chǎn)生的離子在（）的加速電場(chǎng)作用下得到加速。
A.分析器
B.掃描器
C.加速器
D.偏轉(zhuǎn)器
5.單項(xiàng)選擇題Torr是指（）的單位。
A.真空度
B.磁場(chǎng)強(qiáng)度
C.體積
D.溫度
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