半導體芯片制造工半導體芯片制造高級工章節(jié)練習(2019.05.03)

來源:考試資料網
參考答案:

常壓化學氣相淀積(APCVD.,
低壓化學氣相淀積(LPCVD.,
等離子體輔助CVD。

參考答案:

晶體機構中質點排列的某種不規(guī)則性或不完善性。又稱晶格缺陷。