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單項選擇題
以下不屬于電子束加熱的優(yōu)點的是()。
A.蒸發(fā)溫度高
B.工藝設備簡單
C.熱效率高
D.高純度淀積
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?以下不屬于真空蒸發(fā)過程的是()。
A.氣相輸運
B.薄膜淀積
C.薄膜定向
D.加熱蒸發(fā)
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單項選擇題
以下磷(P)源屬于氣態(tài)源的是()。
A.POCl
3
B.P
2
O
5
C.PH
3
D.PCl
3
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