A.氣相輸運(yùn)B.薄膜淀積C.薄膜定向D.加熱蒸發(fā)
A.POCl3B.P2O5C.PH3D.PCl3
A.工藝簡(jiǎn)單B.高溫、深結(jié)C.不能獨(dú)立控制結(jié)深和濃度D.橫向擴(kuò)散