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單項(xiàng)選擇題

以下磷（P）源屬于氣態(tài)源的是（）。

A.POCl₃
B.P₂O₅
C.PH₃
D.PCl₃

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單項(xiàng)選擇題

?以下哪一項(xiàng)不屬于擴(kuò)散的局限性？（）

A.工藝簡(jiǎn)單
B.高溫、深結(jié)
C.不能獨(dú)立控制結(jié)深和濃度
D.橫向擴(kuò)散

單項(xiàng)選擇題

擴(kuò)散的雜質(zhì)分布包括（）和有限表面源分布。

A.無(wú)限表面源分布
B.雜質(zhì)總量分布
C.恒定表面源分布
D.表面源分布

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