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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是阻擋層金屬?阻擋層材料的基本特征是什么?哪種金屬常被用作阻擋層金屬?
答案:
阻擋層金屬是淀積金屬或金屬塞,作用是阻止層上下的材料互相混合。
可接受的阻擋層金屬的基本特征是:
①...
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【簡(jiǎn)答題】例舉并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點(diǎn)。
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【簡(jiǎn)答題】解釋鋁已經(jīng)被選擇作為微芯片互連金屬的原因。
答案:
(1)鋁與P型硅及高濃度N型硅均能形成低歐姆接觸;
(2)電阻率低;
(3)與SiO
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