問答題

【簡答題】例舉并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點。

答案：

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【簡答題】解釋鋁已經(jīng)被選擇作為微芯片互連金屬的原因。

答案：（1）鋁與P型硅及高濃度N型硅均能形成低歐姆接觸；
（2）電阻率低；
（3）與SiO₂

【簡答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。

答案：金屬用于硅片制造的七個要求：
1.導(dǎo)電率：為維持電性能的完整性，必須具有高電導(dǎo)率，能夠傳導(dǎo)高電流密度。