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【簡答題】解釋鋁已經被選擇作為微芯片互連金屬的原因。
答案:
(1)鋁與P型硅及高濃度N型硅均能形成低歐姆接觸;
(2)電阻率低;
(3)與SiO
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【簡答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。
答案:
金屬用于硅片制造的七個要求:
1.導電率:為維持電性能的完整性,必須具有高電導率,能夠傳導高電流密度。
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答案:
(1)互連:由導電材料,如鋁、多晶硅和銅制成的連線將電信號傳輸?shù)叫酒牟煌糠帧;ミB也被用于芯片上器件和器件整個封裝之間...
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