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問答題

【簡答題】解釋空氣質量凈化級別。

答案：凈化級別標定了凈化間的空氣質量級別，它是由凈化室空氣中的顆粒尺寸和密度表征的。這一數字描繪了要怎樣控制顆粒以減少顆粒玷污...

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【簡答題】例舉硅片制造廠房中的7種玷污源。

答案：硅片制造廠房中的七中沾污源：
（1）空氣：凈化級別標定了凈化間的空氣質量級別，它是由凈化室空氣中的顆粒尺寸和密...

【簡答題】什么是硅片的自然氧化層？由自然氧化層引起的三種問題是什么？

答案：自然氧化層：如果曝露于室溫下的空氣或含溶解氧的去離子水中，硅片的表面將被氧化。這一薄氧化層稱為自然氧化層。硅片上最初的自...