問答題

【簡答題】例舉硅片制造廠房中的7種玷污源。

答案：硅片制造廠房中的七中沾污源：
（1）空氣：凈化級別標定了凈化間的空氣質量級別，它是由凈化室空氣中的顆粒尺寸和密...

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答案：自然氧化層：如果曝露于室溫下的空氣或含溶解氧的去離子水中，硅片的表面將被氧化。這一薄氧化層稱為自然氧化層。硅片上最初的自...

【簡答題】對凈化間做一般性描述。

答案：凈化間是硅片制造設備與外部環(huán)境隔離，免受諸如顆粒、金屬、有機分子和靜電釋放（ESD）的玷污。一般來講，那意味著這些玷污在...