問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】

如圖為鋁金屬化與銅金屬化工藝的比較。識(shí)別并描述每個(gè)工藝步驟。

答案： （a）鋁金屬化工藝下層鋁導(dǎo)線層間絕緣介質(zhì)沉積/平坦化通孔刻蝕通孔填充，形成鎢插塞上層鋁淀積上層鋁導(dǎo)線刻蝕
（b...
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