問答題

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答案: 正性光刻把與掩膜版上相同的圖形復(fù)制到硅片上,負(fù)性光刻把與掩膜版上圖形相反的圖形復(fù)制到硅片表面,這兩種基本工藝的主要區(qū)別在...
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【簡(jiǎn)答題】描述化學(xué)機(jī)械平坦化工藝。

答案: CMP:通過比去除低處圖形更快的速率去除高處圖形以獲得均勻表面,是一種化學(xué)和機(jī)械作用結(jié)合的平坦化過程。它通過硅片和一個(gè)跑...
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