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【簡(jiǎn)答題】解釋正性光刻和負(fù)性光刻的區(qū)別?為什么正膠是普遍使用的光刻膠?最常用的正膠是指哪些膠?
答案:
正性光刻把與掩膜版上相同的圖形復(fù)制到硅片上,負(fù)性光刻把與掩膜版上圖形相反的圖形復(fù)制到硅片表面,這兩種基本工藝的主要區(qū)別在...
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