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【簡(jiǎn)答題】例舉雙大馬士革金屬化過(guò)程的10個(gè)步驟。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是硅化物?難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么?
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硅化物是難熔金屬與硅反應(yīng)形成的金屬化合物,是一種具有熱穩(wěn)定性的金屬化合物,并且在硅/難熔金屬的分界面具有低的電阻率。
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