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填空題

快速熱處理設(shè)備（RTP）的主要熱交換機(jī)制是（），常用熱源是（）。RTP的主要優(yōu)點是（）。

答案：熱輻射；鎢-鹵燈；時間短可減少雜質(zhì)的再分布、燈光加熱無污染

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CMOS工藝中，阱注入的計量為（）量級；源、漏注入的劑量為（）量級；開啟調(diào)整的注入劑量為（）量級；場注入的的劑量為（）量級；離子束合成SOI材料SIMOX的O⁺注入計量為（）量級。

答案： 10¹²/cm²；10¹⁵/cm²；10¹¹/cm²；10¹³/cm²；10¹⁸/cm²

淺結(jié)制備的常用方法是：（）、（）加（）。而（）型淺結(jié)比（）型淺結(jié)更難制備。P型淺結(jié)常用（）、（）、（）來獲得。

答案：降低注入離子能量；分子離子注入；快速熱退火；P；n；BF₂⁺離子替代B⁺注入；降低B⁺注入能量；硅注入表面預(yù)非晶化