填空題

淺結制備的常用方法是：（）、（）加（）。而（）型淺結比（）型淺結更難制備。P型淺結常用（）、（）、（）來獲得。

答案： 降低注入離子能量；分子離子注入；快速熱退火；P；n；BF2+離子替代B+注入；降低B+注入能量；硅注入表面預非晶化
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