問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】描述RF濺射系統(tǒng)。

答案：

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【簡(jiǎn)答題】什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？

答案：硅化物是難熔金屬與硅反應(yīng)形成的金屬化合物，是一種具有熱穩(wěn)定性的金屬化合物，并且在硅/難熔金屬的分界面具有低的電阻率。

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【簡(jiǎn)答題】什么是阻擋層金屬？阻擋層材料的基本特征是什么？哪種金屬常被用作阻擋層金屬？

答案：阻擋層金屬是淀積金屬或金屬塞，作用是阻止層上下的材料互相混合。
可接受的阻擋層金屬的基本特征是：
①...