問答題

【簡答題】請闡述擴(kuò)散的局限性。

答案：與離子注入工藝相比，擴(kuò)散工藝的局限性在于：
1）擴(kuò)散是各向同性的，其掩膜下方會有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng)，因而不適于...

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【簡答題】實際氧化工藝為什么要采用先干氧、再濕氧、最后再干氧的氧化方法？

答案：干氧的氧化速率最慢，但其氧化層質(zhì)量最好。濕氧的氧化速率快，但其氧化層質(zhì)量不如干氧工藝。實際氧化工藝多采用干氧-濕氧-干氧...

【簡答題】為什么氧化層厚度越厚，熱氧化生長的速率越慢？

答案：根據(jù)熱氧化的生長機(jī)理，氧化劑（O₂或H₂O）若要與襯底Si反應(yīng)生成SiO