判斷題實(shí)際擴(kuò)散工藝通過調(diào)整爐溫比調(diào)整擴(kuò)散時間對結(jié)深的影響更大。
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1.判斷題中子嬗變摻雜不能用于制備p型硅錠。
3.多項(xiàng)選擇題蒸鍍工藝要求蒸鍍室為高真空度的原因()
A.為了避免蒸發(fā)分子(或原子)被氧化
B.為了降低鍍膜中的雜質(zhì)
C.為了減小蒸發(fā)分子(或原子)的平均自由程
D.為了制備的鍍膜表面更平坦
4.單項(xiàng)選擇題PVD與CVD比較,下列哪種說法正確()
A.CVD普適性更好
B.PVD薄膜的保形性更好
C.CVD工藝溫度更低
D.PVD薄膜與襯底的粘附性較差
5.單項(xiàng)選擇題下列晶體缺陷中對其擴(kuò)散速率影響最大的是()
A.空位
B.填隙雜質(zhì)
C.自填隙
D.替位雜質(zhì)
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