A.為了避免蒸發(fā)分子(或原子)被氧化B.為了降低鍍膜中的雜質(zhì)C.為了減小蒸發(fā)分子(或原子)的平均自由程D.為了制備的鍍膜表面更平坦
A.CVD普適性更好B.PVD薄膜的保形性更好C.CVD工藝溫度更低D.PVD薄膜與襯底的粘附性較差