定期應該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術的一次革命性創(chuàng)新，成為國內外IT 業(yè)界和社會關注的焦點之一。它可以分為標識、感知、處理、信息傳送四個環(huán)節(jié)。其中“感知”對應的關鍵技術為（）。

（）又稱“島式加工單元”。

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

RF 電源適用的設備是（）。