對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。