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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么叫做光刻，光刻有何目的？
答案：
定義：光刻是圖形復(fù)印與腐蝕作用相結(jié)合，在晶片表面薄膜上制備圖形的精密表面工藝技術(shù)。
目的：在介質(zhì)薄膜（二氧化硅...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】說(shuō)明金屬CVD的優(yōu)勢(shì)和主要用途。
答案：
LPCVD可以應(yīng)用于制作金屬薄膜
優(yōu)勢(shì)：
①不需要昂貴的高真空泵；
②臺(tái)階覆蓋性好；
優(yōu)勢(shì)：
①不需要昂貴的高真空泵；
②臺(tái)階覆蓋性好；
