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問答題
【簡答題】金屬化的實現(xiàn)方法有幾種？請論述真空濺射方法。
答案：
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問答題
【簡答題】PECVD的機(jī)理？PECVD有何優(yōu)勢？
答案：
機(jī)理：等離子體由中性原子團(tuán)、游離基、分子、離子、少量高能電子組成。
優(yōu)勢：可以較低溫度下淀積薄膜，常是低溫與低壓結(jié)合
