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問答題
【簡答題】說明金屬CVD的優(yōu)勢和主要用途。
答案：
LPCVD可以應(yīng)用于制作金屬薄膜
優(yōu)勢：
①不需要昂貴的高真空泵；
②臺階覆蓋性好；
優(yōu)勢：
①不需要昂貴的高真空泵；
②臺階覆蓋性好；
