填空題

半導(dǎo)體器件隔離的種類(lèi)有:();()和()三種。P-N結(jié)隔離適合()的器件。目前大多數(shù)CMOS器件采用()隔離,絕緣介質(zhì)場(chǎng)區(qū)氧化層采用()工藝生長(zhǎng)。

答案: P-N結(jié)隔離;介質(zhì)隔離;溝槽隔離;低密度、低成本;介質(zhì);局部氧化(LOCOS)
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