問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】光刻技術(shù)的圖形轉(zhuǎn)移分為哪兩個(gè)階段？

答案：

①圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠層
②圖形從光刻膠層轉(zhuǎn)移到晶圓層
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問(wèn)答題

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目的：在介質(zhì)薄膜（二氧化硅...
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答案： LPCVD可以應(yīng)用于制作金屬薄膜
優(yōu)勢(shì)：
①不需要昂貴的高真空泵；
②臺(tái)階覆蓋性好；
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