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問答題

【簡答題】什么是離子注入的溝道效應？消除溝道效應的途徑有哪些？

答案：

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【簡答題】請闡述擴散的局限性。

答案：與離子注入工藝相比，擴散工藝的局限性在于：
1）擴散是各向同性的，其掩膜下方會有嚴重的橫向擴散效應，因而不適于...

【簡答題】實際氧化工藝為什么要采用先干氧、再濕氧、最后再干氧的氧化方法？

答案：干氧的氧化速率最慢，但其氧化層質(zhì)量最好。濕氧的氧化速率快，但其氧化層質(zhì)量不如干氧工藝。實際氧化工藝多采用干氧-濕氧-干氧...