問(wèn)答題什么是離子注入的溝道效應(yīng)?消除溝道效應(yīng)的途徑有哪些?
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1.問(wèn)答題請(qǐng)闡述擴(kuò)散的局限性。
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3.問(wèn)答題為什么氧化層厚度越厚,熱氧化生長(zhǎng)的速率越慢?
4.問(wèn)答題Si片定位邊或定位槽的作用是什么?
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