問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】

識(shí)別如圖所示工藝，寫(xiě)出每個(gè)步驟名稱并進(jìn)行描述。

答案： 如圖所示工藝每個(gè)步驟名稱為：
1 氣相成底膜：清洗、脫水，脫水烘焙后立即用HMDS進(jìn)行成膜處理，起到...
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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】

如圖為鋁金屬化與銅金屬化工藝的比較。識(shí)別并描述每個(gè)工藝步驟。
答案： （a）鋁金屬化工藝下層鋁導(dǎo)線層間絕緣介質(zhì)沉積/平坦化通孔刻蝕通孔填充，形成鎢插塞上層鋁淀積上層鋁導(dǎo)線刻蝕
（b...
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