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空間調(diào)制光束的產(chǎn)生光路中設(shè)置了相互垂直的光闌。
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激光掃描時光束直徑d所產(chǎn)生的半影影響無法消除。
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采用激光偏振檢測系統(tǒng)可確定硅片表面疵病的性質(zhì),即區(qū)分疵病是劃痕、裂痕、麻點、灰塵、油污膜層或其他缺陷。
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